- Перепускной клапан серии Stuthings HVTV представляет собой перепускной клапан высокого вакуума.
Перепускной клапан серии HVTV приводится в действие сжатым воздухом. Путем изменения штока поршня цилиндра, чтобы толкать (тянуть) узел сердечника клапана для выполнения линейного движения, он контролирует открытие или закрытие пластины клапана, тем самым перекрывая или соединяя поток воздуха. вакуумная система.
В полупроводниковых устройствах и т.п. он подходит для использования в качестве запорного клапана между камерой загрузочного шлюза и камерой передачи, а также между камерой передачи и технологической камерой.
Эта серия перепускных клапанов изготовлена из алюминия или нержавеющей стали, использует уплотнения из витона и может использоваться в различных условиях высокого вакуума.
Дополнительные конфигурации включают различные материалы и варианты фланцев, все они разработаны для обеспечения лучших решений для вакуумной промышленности.
модель
- серия HVTV
Диапазон давления источника приводного воздуха
- 3-6 bar
Типичное давление источника воздуха
- 4 bar
Область применения
- 1.3×10⁻⁵Pa ⁓ atm
Скорость утечки
- 1.3×10⁻¹⁰ Pa·L/S
Уплотнительный материал
- FKM
Устойчивость к температуре выпечки
- 0~120℃
Среда использования
- Вакуум, инертный газ
Цикл обслуживания
- 100 000 раз
Направление установки
- вертикальный