MQC ряд

• Серия Stuthings MQC — это высокоточные регуляторы массового расхода газа с температурной компенсацией.
  
  В основном он используется для точного измерения и контроля массового расхода газа в процессах производства полупроводников.
  
  Высокоскоростной отклик достигается за счет использования датчика теплового потока MEMS и высокоскоростного электромагнитного клапана. Он также имеет функцию температурной компенсации.
  
  Световой индикатор показывает текущий статус.
  
  Минимальное разрешение настройки составляет 0,05%.
  
  Имеет хорошую электромагнитную совместимость.
  
  Для связи используется стандартный протокол Modbus-RTU, который удобен и прост в эксплуатации.

модель

• MQC-021
• MQC-051
• MQC-022
• MQC-023

Диапазон управления

• 0.5~20 sccm
• 0.5~50 sccm
• 5~200 sccm
• 50~2000 sccm

Разница рабочего давления

• 0.2~0.4 MPa

Допустимое входное давление

• Ниже 0.5 MPa

Устойчивый к давлению

• 1 MPa

Допустимый диапазон вибрации

• 0 m/s²

Установить разрешение

• 0.01 sccm
• 0.01 sccm
• 0.1 sccm
• 1.0 sccm

Точность

• (0≤ Q ≤ 50%) ±0.5%F.S.
  
  (50< Q ≤ 100%) ±1%S.P.

Электрические соединения

• RJ45 x2（comm.)
  
  4 pin（power and comm.)

источник питания

• DC 24V
  
  300 mA max

Аналоговый выход

• Необязательный

последовательный выход

• RS485 / Modbus RTU

Рабочая Температура

• -10 ~ 40 ℃

Направление установки

• уровень

калибровочный газ

• Азот/воздух

Скорость утечки

• <5*10⁻⁹ mbar*L/s

• 1. мл/мин и л/мин представляют собой объемную скорость потока в минуту, пересчитанную на 0°C и 101,325 кПа (атмосферное давление). Диапазон регулируемого расхода варьируется в зависимости от типа газа.
  
  2. Сухой газ, не содержащий хлора, серы, кислоты и других агрессивных компонентов. И это чистый газ, не содержащий пыли и масляного тумана.
  
  3. Он также может работать ниже нижнего предела рабочего перепада давления, но диапазон контролируемого расхода становится меньше.
  
  4. При вертикальной установке в значениях измерений возникнут ошибки.