- Stuthings HVTV系列传输阀是一种高真空型传输阀。
HVTV系列传输阀是以压缩空气为动力，通过改变气缸活塞杆推(拉)动阀芯组件做直线运动，控制阀板的开启或关闭，从而在真空系统中切断或接通气流。
在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
该系列传输阀由铝或不锈钢制成，使用氟橡胶密封，可用于高真空的各种应用。
可选配置包括不同的材质和法兰选项，所有这些都旨在为真空行业提供更优的解决方案。
型号
- HVTV系列
驱动气源压力范围
- 3-6 bar
典型气源压力
- 4 bar
适用范围
- 1.3×10⁻⁵Pa ⁓ atm
漏率
- 1.3×10⁻¹⁰ Pa·L/S
密封材料
- FKM
耐烘烤温度
- 0~120℃
使用环境
- 真空、惰性气体
保养周期
- 100,000 次
安装方向
- 垂直
