- Stuthings MPC系列冷阴极复合真空计是一款全量程、高重复性的真空计。
用于全真空环境下的真空压力测量,以及质谱仪控制等场景。
基于MEMS Pirani传感器和冷阴极实现大气压至超高真空的全量程测量。同时具备全量程的温度补偿功能。
采用反磁控式冷阴极规管,坚固耐用。
内置热可恢复保险丝,可有效避免电气接口误接、反接损毁电路元件。
可选配RS485数字通信接口、模拟量接口。
型号
- MPC-261
测量范围
- 1*10⁻⁸ mbar ~ 1000 mbar
精确度
- 1*10⁻⁸ mbar ~ 1*10⁻³ mbar,±25% of reading
- 1*10⁻³ mbar ~ 10 mbar,±5% of reading
- 10 mbar ~ 1000 mbar,±30% of reading
重复性
- 1*10⁻³ mbar ~ 10 mbar,±2% of reading
电气连接
- RJ45
电源电压
- DC 9-30V
功耗
- <2W
保险丝(热可恢复)
- 200 mA
模拟输出
- 选配
串行输出
- RS485
数字输出更新率
- 20 Hz
工作温度
- 0 ~ 50 ℃
异物防护等级
- IP40
漏率
- <5*10⁻⁹ mbar*L/s
典型应用
- 真空、高精度的压力测量
- 半导体、工业真空设备
- 数据存储和显示器制造设备
- 研发、分析、涂料
- 质谱仪控制