- Stuthings HVSV系列球阀是是一种半导体领域专用球阀，适配半导体高精度、高洁净度要求。
HVSV系列球阀以压缩空气或手柄为动力，通过改变球体的转动，控制阀门的开启或关闭，从而切断或接通气流。
该系列球阀由316L不锈钢和进口密封组件制成，使用进口低挥发真空脂润滑。
具备一定的自清洁能力，可用于半导体腐蚀、沉积性气氛，用于抗污染的场景。
可选配包括不同的法兰尺寸，旨在为半导体行业提供更优的解决方案。
型号
- HVSV系列
驱动气源压力范围
- 4-8 bar
典型气源压力
- 6 bar
适用范围
- 1.3×10⁻⁵Pa ⁓ atm
漏率
- 1.3×10⁻¹⁰ Pa·L/S
密封材料
- PTFE、FKM
工作介质温度
- 0~120℃
使用环境
- 真空、惰性气体
保养周期
- 20,000 次
