MQC系列

• Stuthings MQC系列是高精度、温度补偿型气体质量流量控制器。
  
  主要用于对于半导体制程中气体质量流量进行精密测量和控制。
  
  基于MEMS热式流量传感器和高速响应电磁阀实现高速响应。同时具有温度补偿功能。
  
  指示灯显示当前状态。
  
  最小设定分辨率 0.05%。
  
  具有良好的电磁兼容性。
  
  通讯使用标准Modbus-RTU协议，操作使用方便简单。

型号

• MQC-021
• MQC-051
• MQC-022
• MQC-023

控制量程

• 0.5~20 sccm
• 0.5~50 sccm
• 5~200 sccm
• 50~2000 sccm

工作压差

• 0.2~0.4 MPa

容许入口压

• 0.5 MPa 以下

耐压

• 1 MPa

容许振动范围

• 0 m/s²

设定分辨率

• 0.01 sccm
• 0.01 sccm
• 0.1 sccm
• 1.0 sccm

精度

• (0≤ Q ≤ 50%) ±0.5%F.S.
  
  (50< Q ≤ 100%) ±1%S.P.

电气连接

• RJ45 x2（comm.)
  
  4 pin（power and comm.)

电源

• DC 24V
  
  300 mA max

模拟输出

• 选配

串行输出

• RS485 / Modbus RTU

工作温度

• -10 ~ 40 ℃

安装方向

• 水平

标定气体

• 氮气/空气

漏率

• <5*10⁻⁹ mbar*L/s

• 1.mL/min及L/min表示换算成0℃、101.325 kPa(大气压)后的每1分钟的体积流量。可控制的流量量程因气体种类而异。
  
  2.不含氯气、硫黄、酸等腐蚀成分的干燥气体。并且是不含灰尘及油雾的洁净气体。
  
  3.动作差压下限以下也可动作，但可控制的流量量程变小。
  
  4. 垂直安装的场合，测量值会产生误差。