Stuthings半导体传感器采用了多种先进的过程传感技术,包括残余气体分析、光发射光谱测量法、石英晶体微天平(膜厚仪)、检漏仪、压力计和射频测量。通过配备专利软件,用户可以实时检测生产过程,并即时控制设备,从而通过领先技术确保产品的最高质量。
随着半导体技术不断进步,市场对芯片的需求不断增加,因此了解气体和等离子体如何与周围环境相互作用变得比以往任何时候都更加重要。Stuthings为您提供多种传感器,无论是在加工过程中进行测量以确保产品的安全和质量,还是在腔室清洁或工具维护过程中进行测量以尽量减少停机时间,甚至是监测减排系统以减少温室气体的排放,都能满足您的需求。Stuthings是您最佳的合作伙伴。
Stuthings的传感器适用于全半导体制造周期。这些传感器能够准确测量气体成分,支持早期阶段的研究和开发、前段制程/后段制程生产,以及全厂范围内的设施性能监控。应用范围涵盖后端洁净室模具分拣和组装等环节,从而提高过程控制效率和生产力,实现高质量、可靠制造,并实现最大生产力和最高效率的运行水平。无论您面临的挑战是什么,Stuthings都能为您提供量身定制的解决方案。
子市场
半导体设备制造商
半导体行业涉及集成电路的设计、制造、组装和测试。这些半导体产品主要应用于数据处理、通信、消费电子、汽车和航空航天等领域。为了满足不断增长的半导体需求,半导体工具制造商致力于开发和销售用于制造微电子元件的半导体晶圆工具。这些工具通常由多个晶圆加工站组成,围绕着一个中央自动处理单元。随着芯片设计的复杂化,为了降低成本、提高生产力、改善过程可靠性和产品质量,必须不断提高自动化水平。
所有的半导体工具都由三个部件或三组部件组成:加工/清洗/冷却室、装卸室,以及用于在各腔室之间传送晶圆的机器人。每个腔室在不同的压力和特定的工艺气体或等离子体下运行,这些过程都需要精密控制。
作为领先的传感器开发商,Stuthings采用最先进的技术,提供大量传感器产品组合,广泛应用于半导体制造工具的数千个过程监控应用场景。我们的核心技术包括质谱法、石英晶体微天平(膜厚仪)、射频直流检测器、光学传感器、真空计和检漏器。
经证明,Stuthings的产品能够显著提高生产力、效率、正常运行时间和产量,确保原始设备制造商(OEM)能够顺利销售设备,满足不断增长的半导体需求。